隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展， 特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，從應用領域劃分， 主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。

近年來，隨著下游應用領域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增， 據不完全統計，我國已有的特種氣體達260余種。

電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等） ，碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全， 但數量和質量與發達國家相比，尚有較大差距。隨著半導體和微電子工業的迅猛發展， 對電子氣體的品種、數量、質量及純度提出了更高的要求。

標準氣體又分為單標氣體和多元標準氣體。目前，標準氣體基本滿足了 我國石油、化工、環保、傳感器校準等諸多領域的應用。但對活性較強的標準氣， 國內尚無法徹底解決量產的問題，如氯標氣、氯化氫標氣等。

高純氣體即為大家熟知的氧氣、氮氣、氫氣、氦氣、氬氣等 （純度通常都是大于99.999%的）。高純氣體大多用于超大規模 的集成電路及分離器件、光電子等高科技領域。當前國內公司主要 靠精餾分離制備高純氣體，國外公示在制備某些高純氣體時采用吸附劑 凈化的方法，實現了常壓凈化和高壓提純充瓶。 國內技術在這方面進來雖有所突破，但提純技術還有待提高。

電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫 、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目 前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量與發達國家相比，尚有 較大差距。隨著半導體和微電子工業的迅猛發展， 對電子氣體的品種、數量、質量及純度提出了更高的要求。